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          MEMS微加速度計的設計與性能控制(四)

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           在西安的第三天我們和校領導一行有幸參觀了沐浴勝地,國家級重點文物保護單位華清池,陣容強大的秦始皇兵馬俑及收藏價值突出的陜西省歷史博物館。
           綜觀三天的科研見習生活,航天九院七七一所帶給我的震撼最大,在此間,我了解到了微電子在科技方面的重要性,一覽了現代化的高科技的工作環境,看到了微電子的大好前景,這將激勵我更加勇敢而又有自信地邁向科學殿堂。
          七  致謝
           首先衷心地感謝李政道先生及其已故夫人秦惠君女士設立了“君正基金”,使我們本科生階段就能夠接觸科研,認識科研。
           感謝我的導師楊建紅教授能在百忙之中給我無微不至的指導與關懷。
           感謝學校的領導帶領我們進行了一次使我終生難忘的科研見習,使我開闊了眼界,幫助我樹立更高的理想。
           感謝其他的君政學者,他們在見習期間給了我太多的幫助和關懷。
           
          [作者簡介] 李貴柯 男,中共預備黨員,山東省泰安市人,2000年由山東省新泰一中考入蘭州大學資源環境與城鄉規劃管理專業,入學后,以優異成績考入地理基地班,后來由于各種原因轉入物理科學與技術學院2001級微電子學專業學習,兩年以來,獲得一等獎學金兩次,國家二等獎學金一次,校“三好學生”一次,“優秀學生會干部”一次,“優秀團干部”一次,校普通物理競賽二等獎一次,曾擔任校青年志愿者協會辦公室副主任,物理科學與技術學院團委實踐部部長,班級學習委員等職。
          [導師簡介]楊建紅,男,1965年3月生。蘭州大學物理系博士畢業。曾赴加拿大曼尼托巴大學和澳大利亞悉尼大學訪問、留學。現為蘭州大學物理科學與技術學院教授,微電子研究所所長,主要從事新型微電子器件的研究。

          參考文獻
          張興、黃如、劉曉彥,《微電子學概論》,北京大學出版社,2000年。
          Fedder,G..K.,S.Reed M.L.,Eagle S.C.,Guilou D.F.,Lu M.,Carley L.R.,”Laminated high-aspect-ratio microstructures in a conventional CMOS process,” Sensor and Actuators A,pp.103-10,Nov.1996.
          Kuechnel,W.,”Modeling of the mechanical behavior of a differential capacitor accelerometer sensor,”Sensors and Actuators A,vol.A36,pp.79-87,March 1993.
          Yun,W.,Howe R.T.,Gray R.R.,”surface micromachined,digitally force-balanced accelerometer with integrated COMS detection circuitry,”IEEE Solid-State Sensor and Actuator Workshop,Hilton Head Island,SC,June,1992, pp21-25
          Lecture notes, EE321, MEMS Design, Stanford University, 2003.
          黃慶安,硅微機械加工技術,科學出版社,1996年。

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