真空獲得與真空鍍膜

應(yīng)用物理學(xué)論文編號(hào):WLX115  字?jǐn)?shù):18775,頁(yè)數(shù):29

目  錄  
中文摘要 i
英文摘要 ii
目錄 iii
第一章     緒論  1
1.1  鍍膜技術(shù)的歷史 1
1.2  真空鍍膜技術(shù)以及設(shè)備的基本現(xiàn)狀 1
1.3  真空鍍膜的應(yīng)用前景 2
第二章     真空獲得  4
2.1  真空的獲得方法 4
 2.1.1  真空度 4
2.2  真空泵的分類 5
 2.2.1  氣體傳輸泵 5
 2.2.2  氣體捕集泵 7
2.3  真空泵的性能參數(shù)及使用范圍 7
 2.3.1  真空泵的性能參數(shù) 7
 2.3.2  真空泵的使用范圍 8
2.4  真空泵在真空系統(tǒng)中所承擔(dān)的工作任務(wù) 9
 2.5  真空泵型號(hào)及規(guī)格的表示方法 10
第三章     真空鍍膜 11
3.1  薄膜的獲得方法 11
3.2  真空蒸發(fā)鍍膜法 11
 3.2.1  電阻蒸發(fā)源蒸鍍法 11
 3.2.2  電子束蒸發(fā)源蒸鍍法 11
 3.2.3  高頻感應(yīng)蒸發(fā)源蒸鍍法 12
 3.2.4 激光束蒸發(fā)源蒸鍍法 13
3.3  濺射鍍膜 13
3.4 離子鍍膜 14
第四章     真空獲得與真空鍍膜實(shí)驗(yàn) 16
 4.1  設(shè)備簡(jiǎn)介 16
 4.1.1  儀器的組成 16
 4.2  儀器結(jié)構(gòu)圖及說明 16
 4.2.1  真空室 16
 4.2.2  真空系統(tǒng) 17
 4.2.3  復(fù)合真空計(jì) 17
 4.3  真空獲得與真空鍍膜實(shí)驗(yàn) 18
 4.3.1  實(shí)驗(yàn)前準(zhǔn)備 18
 4.3.2  真空室抽真空 18
 4.3.3  蒸鍍鋁膜 19
 4.4  注意事項(xiàng) 21
第五章     結(jié)論 22
致謝 24
參考文獻(xiàn) 25

摘    要
 通過對(duì)真空獲得與真空鍍膜的理論學(xué)習(xí)與實(shí)驗(yàn)研究，了解了真空與真空鍍膜的發(fā)展歷程、應(yīng)用現(xiàn)狀、以及它們?cè)诟鱾�(gè)領(lǐng)域的前景。本文介紹了真空獲得與真空鍍膜的各方面知識(shí)、一般的真空獲得方法和常用的鍍膜方法、以及各自的優(yōu)缺點(diǎn)。實(shí)驗(yàn)過程采用DH2010多功能真空實(shí)驗(yàn)儀，在獲得一定真空度的真空環(huán)境后，用蒸發(fā)鍍膜的方法在載玻片表面鍍上勻質(zhì)鋁膜。本課題的學(xué)習(xí)研究，是對(duì)我大學(xué)四年理論與實(shí)踐方面所學(xué)知識(shí)的一個(gè)概括與總結(jié)，使我在專業(yè)知識(shí)層面又獲得了一次大大的提升。
關(guān)鍵詞：真空  真空鍍膜  鍍膜 

Abstract
  Vacuum and vacuum coating have been studied experimentally and theoretically. We have understood the development of the vacuum and vacuum coating process, application status, and their prospects in all fields by means of this work. This paper we describes some aspects of the vacumm and vacuum coating and introduces general method of vacuum and vacuum coating .Based on multi-function vacuum experimental apparatus DH2010, we have obtained glass slides coated with aluminum under a certain degree of vacuum in the vacuum environment by using vapor deposition. The subject of study is account of a general and summary of what I have learned about the theory and practice knowledge in college.
 
Key words: Vacuum    Vacuum Coating    Coating